Разработки института
- Комплексная установка электронно-ионно-плазменного инжиниринга поверхности
- Импульсная электронно-пучковая машина «РИТМ-СП»
- Экспериментальный аппаратный комплекс для диагностики бортовой аппаратуры космических аппаратов на устойчивость к дугообразованию
- Гибридный источник электропитания магнетронных распылительных систем. Система электропитания МРС MF-HIPIMS
- Комбинированный источник электропитания магнетронных распылительных систем. Система электропитания МРС DC-RF.
- Фотореакторы и система для обработки семян УФ излучением
- Система автоматизированного измерения зондовых характеристик низкотемпературной плазмы
Адрес: Россия 634055 г. Томск, проспект Академический, 2/3
Тел.: (3822) 491-544
Факс: (3822) 492-410
E-mail: contact@hcei.tsc.ru
Сайт: www.hcei.tsc.ru