Высокостабильный спектральный эллипсометр для контроля ростовых процессов в реальном времени

Институт физики полупроводников

Краткая характеристика основных технических параметров:

Общий вид прибора

Минимальное время единичного измерения эллипсометра – 1 мсек; время измерения спектра 2,5 сек; спектральный диапазон 350-100 нм, спектральное разрешение 2,5 нм; погрешность измерения толщины пленки не более 0,5 нм; чувствительность к изменению толщина пленки монослоя не менее 0,05нм; чувствительность к изменению оптических констант, не менее 0,001; погрешность измерения состава не более 0,005 мольных долей.

Область возможного применения: Высокостабильный спектральный эллипсометр предназначен для контроля основных технологических параметров растущего слоя полупроводниковых структур в условиях высокотехнологичных производств твердотельной электроники, а также для проведения научных исследований. Эллипсометр позволяет с высокой точностью и стабильностью в масштабе реального времени осуществлять мониторинг различных ростовых процессов, измерение состава композиционных материалов, температурный контроль.

В использовании высокостабильного спектрального эллипсометра заинтересованы научные учреждения, а также промышленные предприятия высокотехнологичных областей производства, занимающиеся научно-исследовательскими и опытно-технологическими работами в области создания современных функциональных материалов полупроводниковой электроники.

Возможный технический и (или) экономический эффект от внедрения: Высокостабильный спектральный эллипсометр разработан с использованием современных схемотехнических решений и уникальной элементной базы, что обеспечивает высокую точность измерений и быстродействие, которое определяется только временем накопления и оцифровки сигналов. Минимальное время измерения эллипсометра составляет 1 миллисекунду. Специально разработанный быстродействующий монохроматор и оригинальная статическая измерительная схема обеспечивают время измерения спектра 2.5 сек. Простая и функциональная схема прибора обеспечивает высокую надежность работы в течение длительного времени.

Степень готовности разработки к практическому применению: опытный образец.