Реферат:
В ИАиЭ СО РАН разработана оптико-механическая система для бесконтактного измерения профиля с нанометровым разрешением по Z изделий микро- оптики, механики и электроники. Система обеспечивает измерение рельефа поверхности изделий, полученных в процессе 3D формообразования, например: травления, лазерной микрообработки, напыления, литографии, эрозионной обработки, полировки.
Характеристика:
Измерительная система включает высокоточную трёх координатную систему позиционирования, переключаемые 3D сенсоры с различным разрешением на основе принципа конфокальной хроматической микроскопии, контролеры управления и программное обеспечение ?Profilometer?.
Технико-экономические преимущества:
- Интеграция в одном продукте средств измерения, обработки данных и контроля качества по данным CAD-модели;
- Исключены ошибки (сферические аберрации, дисторсия) при восстановлении 3D-модели;
- Возможность измерения поверхности высококонтрастных объектов (коэффициент отражения которых локально изменяется более чем на 3 порядка);
- Встроенные алгоритмы, обеспечивающие высокую точность измерений:
? обработки пространственных данных (коррекция ошибок, фильтрация, компенсация наклона);
? сравнения данных измерений с CAD-моделью (автоматическое совмещение, поиск границ объектов, определение размеров и формы структурных элементов объекта и эффектов обработки).
Предлагаемая система обладает значительными преимуществами по сравнению с аналогами, что объясняется в основном наличием высокоэффективных программных средств. Кроме того, в рамках заказа возможно создание дополнительных программных модулей, которые упростят обработку специфичных профилометрических данных.
Области применения: Оптико-механическая промышленность, машиностроение, авиастроение, радиоэлектронная и пр., везде, где необходимо измерение рельефа поверхности изделий, полученных в процессе 3D микро- формообразования, например, травления, лазерной микрообработки, напыления, литографии, эрозионной обработки, полировки.
Уровень практической реализации: Изготовлены и поставлены заказчику опытные образцы. В Институте накоплен опыт мелкосерийного производства систем аналогичной сложности.
Патентная защита:
Свидетельства о гос. регистрации программ ЭВМ:
? 2014613984 Программа для контроля качества лазерной микрообработки MarkInspektor;
? 2015616114 Программа для контроля качества прецизионной лазерной микрообработки опти-ческих элементов (формирования сеток, масок, шкал) Profilometer.
Коммерческие предложения: Совместное производство, продажа изделий. Гарантийное обслуживание от 1 года, послегарантийное обслуживание может быть проведено по соглашению с заказчиком.
Ориентировочная стоимость: От 5 до 10 млн. рублей в зависимости от аппаратной комплектации и требуемых модулей обработки пространственных данных
Контактные данные:
Инновационный отдел ИАиЭ СО РАН
Тел. +7(383) 330-83-00
e-mail: innovation@iae.nsk.su