ФГБНУ Федеральный исследовательский центр «Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук» (ФИЦ КНЦ СО РАН)
Краткое описание:
Ростовой сверхвысоковакуумный магнитоэллипсометрический комплекс объединяет в себе возможности синтеза и in situ исследований различных полупроводниковых и ферромагнитных наноструктур эллипсометрическими и магнитоэллипсометрическими методами в широком диапазоне температур.
Пояснительная записка:
Данный комплекс оборудован ступенчатой системой откачки, имеет три термических испарительных ячейки, что позволяет реализовать сверхвысоковакуумную (P=10-8 Па) технологию молекулярно-лучевой эпитаксии и синтезировать сверхтонкие (единицы нанометров) планарные и многослойные структуры. Наличие управляемой, с помощью ЭВМ, магнитной системы оригинальной конструкции (Нвнеш до 6 кЭ) и встроенного спектрального эллипсометра обеспечивает возможность проведения как ex situ, так и in situ спектральных исследований (l в диапазоне 360–1000 нм) магнитоэллипсометрическими методами. Для реализации возможности in situ измерений в температурном диапазоне 85–900 K был разработан и изготовлен специальный держатель образца, оригинальная конструкция которого позволяет охлаждать образец парами азота, а нагревание до высоких температур происходит как за счет прямого пропускания тока через проводящую подложку, так и за счет нагрева всего держателя до 700 K. Аналогов данного комплекса, позволяющих обеспечить эллипсометрический и магнитооптический контроль всех стадий технологического процесса в режиме реального времени и в широком диапазоне температур, в мире не существует.
Контактные данные:
Зам. директора ИФ СО РАН
д.ф.-м.н. Варнаков Сергей Николаевич
Тел.: (391) 249-42-94, (391) 243-07-63
Эл. почта: vsn@iph.krasn.ru