Разработка многоуровневых сенсорных структур с интегрированными мембранами

Омский научный центр

Авторы: В.В. Болотов, К.Е. Ивлев, Е.В. Князев, И.В. Пономарева, В.Е. Росликов

В Лаборатории физики наноматериалов и гетероструктур Омского научного центра СО РАН впервые проведены физико-химические исследования и разработаны методы получения перспективных материалов для газовых сенсоров на основе многослойных структур, состоящих из мезопористых, канальных и макропористых слоев. Разработан метод получения двухслойных структур макропористый/канальный кремний (Рис. 1., слева: 1 – пора макропористого кремния, 2 – пора канального кремния) и многослойных структур канального кремния  (Рис. 1 справа) с чередующимися слоями низкой (1) и высокой пористости (2).

Получены многослойные интегрированные пористые мембраны в монолитном обрамлении (Рис 2: слева-для двухслойной структуры макропористый с диаметрами пор до 10 мкм /канальный кремний с диаметрами каналов 100 – 300 нм, справа для структур с со сквозными каналами с диаметрами 20-90 нм). Проведены электрофизические измерения на микросенсорных структурах, включающие интегрированные мембраны.

Показано, что данные мембраны обладают селективностью в пропускании диоксид азота

Публикации: В.В. Болотов, К.Е. Ивлев, Е.В. Князев, И.В. Пономарева, В.Е. Росликов. Формирование многослойных структур с интегрированными мембранами на основе пористого кремния//Физика и техника полупроводников. 2020,Том 54, вып. 5. С. 504–509. DOI: 10.21883/FTP.2020.05.49269.9340